透明導電膜形成工程(光閉じ込めテクスチャー)

透明導電膜形成工程(光閉じ込めテクスチャー)

薄膜Si用透明導電膜付きガラス基板表面形状観察

薄膜Si太陽電池では光吸収層への太陽光の導入量を増やすために透明導電膜にテクスチャーが形成されます。図4は走査型プローブ顕微鏡による透明導電膜付きガラス基板の表面テクスチャーを観察したものでピラミッド形状が観察されています。

ナノサーチ顕微鏡 SFT-3500

ナノサーチ顕微鏡

ナノサーチ顕微鏡 SFT-3500は大型試料対応の超高倍率三次元測定顕微鏡です。光学顕微鏡・レーザ顕微鏡の多彩な観察法を駆使して観察位置をスピーディーに特定し、試料を移動させずにそのままSPM観察ができます。ミリメートル領域からナノメートル領域までの計測が一台で実行できる装置です。

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