ウェハ上の極微小ゴミの観察

ウェハ上の極微小ゴミの観察

ウェハ上のゴミを観察しました(倍率200~10万倍)。
一般のSPMでは,広い面積からナノレベルの異物を探し出して観察することは苦手です。ナノサーチ顕微鏡では,異物位置を同定して,光学顕微鏡からレーザー顕微鏡(LSM),さらにプローブ顕微鏡(SPM)に切り替えて同軸で順次観察・測定が可能です。
図は,LSI表面の配線を観察したものです。光学手法で倍率を上げていくと表面に異形部分が存在することがわかりますが,それが欠陥なのか異物(ゴミ)かの判断はできません。
この領域をSPM観察すると,それが表面に付着した長さ約1μm・高さ90nm程度の異物であることがわかります。
このようにナノサーチ顕微鏡SFT-3500では、観察したい領域を外すことなく、ミリからナノまで、106にわたる観察をすることが可能です。

ウェハ上のゴミの観察例(倍率:200から10万倍)

 

 

ナノサーチ顕微鏡 SFT-3500

大型試料対応の超高倍率三次元測定顕微鏡です。対物レンズとSPMスキャナをシームレスに切り換える事により、ミリからナノまでを一台の顕微鏡で効率よく観察することができます。
また、光学顕微鏡の機能も充実し、明視野観察・暗視野観察・微分干渉観察が可能です。従来のAFMが苦手とした微小な傷、異物の視野探し、位置決めを行い、走査型共焦点レーザ顕微鏡(LSM)を使用した高倍率観察に移行できます。
 

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