プリント基板表面の金属マイグレーション

プリント基板表面の金属マイグレーション

電子線マイクロアナライザ(EPMA)によってプリント基板パターン上の異物分析を行った例です。
カソード側(-)からアノード側(+)に向かってCuがマイグレーションを起していることがわかります。
またCuとほぼ同じ場所にClが分布していることがわかります。

プリント基板パターン間のCuマイグレーション

電子線マイクロアナライザ

非破壊的な分析法として細く絞った電子線を試料に照射し、微小部における元素組成を明らかにします。試料のミクロン領域を高感度で元素分析する装置ですす。サブミクロンオーダー定量分析と同時にSEM像を確認し,形状検査にも利用できます。異物等があれば,直ちに原因解析を行なえます。
 

 

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