走査型プローブ顕微鏡(SPM)

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  • SPM 走査型プローブ顕微鏡

  • 表面

SPM
 

 

  • 島津のSPM機種では、基本となるAFM凹凸像と同時に、電流や電位、硬さや粘弾性など試料表面の物性情報を反映した信号の画像を取得することができるようになっており（一部、オプション）、各種のSPM手法が利用できるようになっています。

原理

  • 走査型プローブ顕微鏡（SPM）は、試料表面を微小なプローブ（探針）で走査し、試料の三次元形状や局所的物性を高倍率で観察する顕微鏡の総称です。

 

走査型プローブ顕微鏡