島津自記分光光度計UV2100/3100による膜厚測定

はじめに

最近では，ビームスプリッタ，レーザ用反射鏡，反射防止膜などの多層膜や，基板半導体上に付着した異質層膜，各種フィルムなどの膜厚を測定することが工業的に重要な仕事になってきております。非破壊による膜厚測定法としては，光学的方法，電気的方法，機械的方法，Ｘ線法などがあります。分光光度計による透過・反射測定で干渉によるパターンが示されるとき，ピークの数により，薄膜の測定を行うことができます。ここでは，膜厚測定ソフトを利用した測定例を紹介します。

2021.03.28