QuantaTMシリーズ
FEI社製走査電子顕微鏡
Quanta™シリーズ
Quanta™ Wシリーズ
Ｗヘアピンフィラメント熱電子銃を使用し，高真空，低真空，ESEM™の3つの真空モードに対応したモデル。
Quanta™ FEGシリーズ
ショットキー電界放射電子銃（FEG）を使用し，高真空，低真空，ESEM™の3つの真空モードに対応したモデル。
| 走査電子顕微鏡は細く絞った電子ビームを試料に照射して、試料から得られる信号を使って像を形成する顕微鏡です。電子銃はタングステンフィラメントとフィールドエミッションタイプがあり、試料ステージの大きさも各種選択可能です。Quantaシリーズは超低真空下での観察が可能で他のSEMでは観察が困難とされている含水試料などの観察が可能です。 |
特徴
- 非導電性試料などの無蒸着観察
- 油の付着した機械部品などの無蒸着観察
- 生体試料など含水試料の無蒸着観察
- 試料を加熱・冷却することによる表面形状変化の動的観察
- EDS/WDSによる元素分析やEBSDによる結晶方位解析
Quanta:ESEM機能は前処理無しで含水・含油試料の測定ができます
水滴に吸着した花粉の二次電子像
オイル中の金属異物の二次電子像
