炭素材料
ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜の非破壊分析
ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜は、炭素や炭化水素からなる非晶質（アモルファス）硬質膜であり、 sp2結合を持つグラファイトとsp3結合を持つダイヤモンドの中間に位置した材料です。DLC膜は複数の優れた特長を持つため、身の回りのあらゆる製品に利用されています。ガスバリア性に優れるため、酸化しやすい飲料の容器内面にも使用されています。幅広く応用されているDLC膜は、使用用途に応じて、 炭素の結合状態や膜中の水素濃度を調整し、膜質を変化させていますが、結合状態や水素濃度は膜質のばらつきの原因にもなるため、生産時や受入時にそれらを測定し、 管理することが重要です。ここでは、シリコンウェハに成膜したDLC膜を分析した事例をご紹介します。