太陽電池 評価機器カタログ (データ集)

太陽電池 評価機器カタログは,太陽電池開発,製造における材料,セル,モジュールの分析・評価例と装置システムの特長・機能を紹介しています。
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  材料評価(太陽電池封止材(EVAフィルム)など)
  セル工程評価 (表面・裏面電極,ガラス基板,CIGS膜,多結晶Siウェハ,セル,色素増感電極材料)
  モジュール工程評価 (EVAフィルム,タブストリング,表面Ag配線)
 

太陽電池 評価機器カタログ
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 材料評価  太陽電池封止材(EVAフィルム)など
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2 劣化評価
ポリスチレン(PS)のUV照射中における光・熱・酸化劣化の揮発性生成物および変性PSの分析
太陽電池モジュールは屋外の厳しい高温,紫外線照射環境に曝されるなかで性能の維持が求められます。透明封止接着フィルムとして用いられるEVAなどのポリマー材料は,太陽光熱,紫外線による劣化が懸念されています。ここでは,紫外線/ダブルショット・パイロライザーGCMS による,ポリマー材料の劣化評価をご紹介します。 U146-0076B
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1 劣化評価
FTIRによる太陽電池封止材(EVAフィルム)のUV劣化評価
EVA(Ethylene-Vinyl Acetate)フィルムは太陽電池モジュールの封止材として広く用いられており,長期間に渡る厳しい設置天候環境に耐えうる対候性・長期信頼性が求められています。ここではUV照射による耐候性試験を行い,FTIR 測定によって評価した結果を紹介いたします。 U103-0036
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 セル工程評価  表面・裏面電極,ガラス基板,CIGS膜,多結晶Siウェハ,色素増感電極材料
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9 色素増感型太陽電池に用いられるRu色素中不純物の分析
・N719の不純物分析
色素増感型太陽電池の光電変換効率には,用いられる色素中の微量の不純物が大きく影響することから,不純物の同定・製造過程での精製が重要な課題となっています。
ここでは,一般的に使用されているRu色素・N719の不純物を液体クロマトグラフ質量分析計を用いて分離・定性した例をご紹介します。
U146-2019A
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8 3次元形状,表面形状観察 --- CIGS
・CIGS太陽電池Mo裏面電極の洗浄前後レーザーパターニング形状観察

・CIGS太陽電池Mo裏面電極,薄膜Si用透明導電膜付きガラス基板表面形状観察
CIGS太陽電池では素子分離のためのパターニングが行われ,決められた幅での正確なパターニング処理が重要です。 ナノサーチ顕微鏡によるレーザーパターニング形状を観察しました。
また,CIGS太陽電池製造プロセスでは,Mo電極をポーラス化しています。走査型プローブ顕微鏡によりポーラス状態を観察しました。さらに薄膜Si太陽電池の透明導電膜付きガラス基板の表面テクスチャーについても観察しました。
U147-0014B
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7 組成比測定,結晶性評価 --- CIGS
・エネルギー分散型蛍光X線によるCIGS膜組成比・付着量測定

・XRDによる成膜条件が異なるCIGS膜の結晶性評価
CIGS太陽電池製造工程において,組成比は重要な管理パラメータとされています。エネルギー分散型蛍光X線分析装置を用いて,CIGSeターゲットによって成膜されたスパッタ膜のCIGS組成比・付着量データを求めました。また,XRD(X線回折装置)により成膜条件の異なるCIGS膜の結晶性を評価しました。 U142-0019
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6 反射率・透過率測定 --- 結晶Si(薄膜Si)
・反射防止膜付結晶Si太陽電池セルの様々な入射角度における絶対反射測定

・TCO膜付きガラス基板の透過率面内分布測定
反射防止膜は結晶Si太陽電池セルに入射する太陽光の反射を抑え,より多くの光をセル内部に導くために重要な役割を果たします。 各波長範囲における反射率だけでなく,各入射角度のおける反射率が重要なパラメータとなります。今回,紫外可視赤外分光光度計により,反射防止膜付きSiウェハの様々な入射角度の絶対反射率を測定しました。
また,色素増感や薄膜Si太陽電池など薄膜系太陽電池では,より多くの太陽光を光吸収層に導くために各波長範囲における透過率の評価が重要になります。 紫外可視赤外分光光度計により,透明導電膜付きガラスの面内16ポイントマッピング測定を行いました。測定結果から,面内でわずかな透過率の差異が見られました。
U101-0037
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5 反射率測定 --- 結晶Si
・テクスチャ形成多結晶Siウェハ反射率測定による光閉じ込め効果の確認

・反射防止膜成膜多結晶Siウェハ反射率測定による反射防止効果の確認
結晶Si太陽電池は入射光の取りこみ効率を高めるためにSiウェハ表面にテクスチャが形成されており,さらに入射した光のSiウェハ表面における反射を抑制するために反射防止膜が成膜されています。紫外可視赤外分光光度計による,テクスチャー形状(正常品,不良品の2種類)が異なる多結晶Siウェハの反射率及びテクスチャ正常品に反射防止膜を成膜したSiウェハの反射率のデータを紹介いたします。 U101-0038
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4 3次元形状観察 --- 結晶Si
・多結晶SiウェハAg表面電極観察

・単結晶SiウェハAg表面電極観察
表面Ag電極は100um前後の幅で印刷されます。シャドーロスを減らすために上面電極は細く,高く形成するのが重要なパラメーターとなりますが,Agペーストには数種の有機/無機添加物が含まれており,乾燥・焼結過程で縦・横方向にダレが生じます。 ここでは3D測定レーザー顕微鏡により,反射防止膜成膜/表面Ag電極印刷・乾燥・焼結後の表面Ag電極及び(単結晶,多結晶)Siウェハ表面テクスチャの3次元形状を観察しました。 U147-0013
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3 電極焼結過程観察 --- 結晶Si
・走査型電子顕微鏡による結晶Si太陽電池表面Ag電極焼結過程観察(動画観察)
結晶Si太陽電池表面Ag配線の最適な形成においては,焼結過程においてどのように焼結していくのかという状態変化を把握できることは大変有用な情報となります。印刷・乾燥後のAg表面電極を室温から800度まで昇温しながらAg粒子がネッキングしていく状態を,走査型電子顕微鏡で観察しました。 U145-0005
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2 パッシベーション評価,偏析評価 --- 結晶Si
・Siウェハ水素パッシベーション評価

・多結晶Siウェハ中カーボンの偏析評価
多結晶Si太陽電池では水素プラズマ処理によって水素をSi表面近傍のSi未結合手と結合させることで結晶粒,粒界における特性が向上することが知られています。ここではFTIRによって,成膜条件を変化させたときのパッシベーションの効果をSi-H結合強度を測定することで評価しています。
また,FTIRによる多結晶Siウェハ中カーボンの偏析評価を行いました。シリコン結晶中の置換型炭素原子は赤外吸収スペクトルの605cm-1にピークとなって現れます。
U103-0034A
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1 粒度分布,比表面積/細孔分布測定 --- 有機系(色素増感)
・ナノオーダー酸化チタンの粒子径測定

・酸化チタン微粒子の比表面積/細孔分布測定
ナノ粒子径測定装置により,ナノオーダー酸化チタンの粒子径測定を行いました。 誘電泳動と回折光を利用するIG法により,粒子密度回折格子の消滅過程を回折光の強度変化を通して粒子径を計測することで,0.5nm~200nmの粒子径測定を実現しています。
 また,比表面積/細孔分布測定装置による,ガス吸着法による酸化チタン微粒子の測定例をご紹介します。
U060-0018
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 モジュール工程評価  EVAフィルム,タブストリング,表面Ag配線
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1 剥離試験,強度試験
・卓上型万能試験機によるEVAフィルム,結晶Si太陽電池タブストリングの剥離試験

・ダイナミック超微小硬度計による表面Ag配線硬度試験
EVAフィルムは太陽電池モジュールの封止接着フィルムとして広く普及しており,厳しい設置環境下で長期間に渡って高い信頼性を保つことが求められています。ここでは接着性という観点から,EVAフィルムメーカー,モジュールメーカーで広く行われている万能試験機によるEVAフィルム及びバックシートの剥離試験をご紹介いたします。
また,微小硬度計により,Ag配線の銀ペーストの種類や乾燥条件の異なる試料について微小硬度を測定しました。
U224-0007A
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